产品介绍：
ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统由滑动管式炉、石英真空室、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统和ALD系统组成。
这款ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统以Kanthal A1 电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，过零触发、
可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够
达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。
开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
型号
ALD-TL1200-PE -I
ALD-TL1200-PE -II
ALD-TL1200-PE -III
ALD 控制面板
1 、5路控制温控系统，可以加热ALD里管路和ALD容器内液体
2、2路气体脉冲交替控制系统（交替时间、交替次数等、用单片机或PLC 控制能够达到ms）
ALD阀门
1、能够在不到 5 ms 内完成阀门开启或关闭
2、高速执行下的超高循环寿命、在产品评估是循环次数超过了25000000次
3、耐 热 执 行 器 、耐 温 高 达200°C（392°F）
ALD-PECVD简图
1、 2个石英容器与ALD管路连接
2、 2个ALD阀门、控制2路管道交替脉冲输入
3、多根加热管给ALD管道和石英容器加热、保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域。
4、多个球阀控制管路的通过。
5、多个旁通支路、可以通气其他气体或运载气体。
功率
3.5KW
TL1200 管式炉
炉管尺寸
Dia 60(OD) X1800mm
Dia 80(OD) X1800mm
Dia 100(OD) X1800mm
外形尺（LXDXH）
1300X410X610
1300X410X610
1300X410X660
电源电压
220V
相数
单相
加热元件
进口瑞典Canthal A1 电阻丝
控制方式
控温模式
智能PID
断偶保护和显示
有
过温保护
有
过流保护
有
控制精度
+/- 1 ℃
触发器
移相触发
电器
浙江正泰
可控硅
106/16E 德国西门康
最高温度
1200 ℃
额定温度
1100 ℃
升温速率
≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）
推荐升温速率
≤10℃/ Min
热电偶型号
K 型
加热段长度
440mm
电器认证
四周表面温度
≤45℃
射频电源
（等离子体发生器）
功率输出范围
0-500W
最大反射功率
200W
工作频率
射频：13.56MHZ±0.005%
功率稳定度
+/-0.1%
谐波分量
≤-50dbc
射频区域宽度
0-600mm 可调
匹配方式
自动
冷却方式
分冷
噪声
<50dB
射频接口
50Ω N-type
输入电源
208-240V 50/60HZ
GX供气系统主要参数
质量流量计
量程和气体
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）
耐压
3MP
流量控制精度
±1.0%F.S
最大工作（使用）压力
0.3MPa
线性
±0.5%F.S.
重复精度
±0.2% F.S
路数
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）
接头类型
双卡套不锈钢接头
系统工作压力范围
0.1~0.5 MPa
工作温度
5-45℃
压力真空表表
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
静态混气室
Dia50 X 400MM
接口
Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个
电源
220V
尺寸
650X650X600 / 650X650X300
波纹管
KF25X1000mm
用该系统抽炉管真空度可达
10 -1Pa
真空挡板阀
KF25
VRD-8真空泵
方案一
型号
VRD-8
极限分压强
5X10-2 Pa
进排气接口
KF25
电机转速
1440RPM
抽气速率
2.2L/S
电机功率
0.4KW
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵
方案二
型号
ACP15
电源
AC100-240 50/60HZ
功率
450W
重量
25KG
最高氦气漏率
5 · 10-8 Pa m3/s
抽气速率
14 m3/h
极限压强
0.02Torr
进、排气接口
KF25
电阻真空计
（方案一）
型号
ZDR-1
功率
25W
真空度测量范围
0.1-10 5 Pa
电阻硅
ZJ-52T
输入电压
24V 1A DC（配有220V变压器）
真空计接口
KF16
数字显示
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
产品尺寸
46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
重量
5 lbs
检测气体
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。
是否防腐
防腐
响应时间
≤30ms
测量范围
3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个）
机组输入电压
380V /220V
波纹管
KF40X1000
真空挡板阀
KF40
机箱尺寸
600X600X600
分子泵
（方案一）
分子泵型号
FJ620
输入电压
380V
分子泵进气口法兰
DN160
分子泵抽气速率L/S（对空气）
600
分子泵极限压强（Pa)
6×10-7
冷却方式
水冷
冷却水压（MPa）
0.1-0.2
冷却水温度
<25℃
环境温度
0~40℃
建议启东压强
<100pa
电压
380V
转速
1450rpm
进气口径
KF25/KF40
前机泵抽气速率（L/S）
6
极限压强
4X10 -2Pa
德国Pfeiffer真空泵
（方案二）
电压
220V
功率
110W
抽气接口
KF40
重量
150KG
前机泵抽速
0.9m 3/ h
抽气速率（N2）
33L/S
复合真空计
复合真空计型号
ZDF
电源
220V 55W
控制精度
± 1%
真空计测量范围
10-5 -10 5 Pa
0571-86775300
免费咨询：0571-86775300
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