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    ALD-1200-PE原子层气相沉积系统

    型号:ALD-1200-PE 品牌:南京博蕴通

    简要描述:

    南京博蕴通 ALD-1200-PE原子层气相沉积系统

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    产品介绍:

    ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统由滑动管式炉、石英真空室、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统和ALD系统组成。

     

    这款ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统以Kanthal A1 电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,过零触发、      

    可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够

     

    达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  

     

    开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。

     

     

     

     

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