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    SE-VM光谱椭偏仪

    型号:SE-VM 品牌:武汉颐光

    简要描述:

    SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。

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    概述

    SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。

     

    产品特点

    采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm);

     

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    高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集;

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    支持系列配置灵活,可根据不同应用场景支持多功能模块化定制;
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    数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料;

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    产品应用

    广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。

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    建议配件

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    Mapping.png

    ME-L0.png

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    温控台
    Mapping扩展模块
    真空泵
    透射吸附组件

     

     

     

     

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