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    SYSC-100B 程控匀胶机

    型号:SYSC-100B 品牌:SANYAN

    简要描述:

    SYSC-100B型高精度程控匀胶机,精密高速伺服电机驱动,转速达10000rpm,旋转加速度可达50000rpm/s(有负载的真实加速度)

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    一.    产品应用

    SYSC-100B高精度程控匀胶机,又称为旋转涂膜仪,具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。

    二.    产品特点

    1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机,具有高精度、高稳定性、高可靠性。

    2.     优异的旋转加速性能,旋转加速度可达50000rpm/s(有负载的真实加速度)。

    3.     两项安全互锁功能:

     (1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能,确保腔体关闭后才可启动,防止匀胶过程中飞片造**身伤害;

     (2) 真空吸片具有真空检测功能,若发生真空泄漏,基片无法吸附牢固,则立即停止运行。

    4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。

    5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料,经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液,避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。

    6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料,经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。

    7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程蕞多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序,随时调用。

    8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程;

    9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制,无需手动操作。

    10.   旋转前增加预吸片步骤,预吸片时间蕞多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,解吸片时间蕞多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。

    11.   标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。

     

     

     

     

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