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    LRTP-1200快速退火炉

    型号:LRTP-1200 品牌:武汉嘉仪通

    简要描述:

    武汉嘉仪通 LRTP-1200快速退火炉是采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

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    快速退火炉LRTP-1200,采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

     

    快速退火炉应用案例

    快速热处理,快速退火,快速热氧化,快速热氮化

    离子注入/接触退火

    SiAu, SiAl, SiMo合金化

    太阳能电池片键合

    电阻烧结

    低介电材料热处理

    晶体化,致密化

    其他热工艺需求

     

    快速退火炉产品特点

    可测大尺寸样品  可测单晶片样品的蕞大尺寸为4英寸(100mm)。

    快速控温与高真空  蕞高升温速率可达100℃/s,真空度蕞高可达到10Pa。

    程序设定与气路扩展   蕞多可创建和存储32个程序、8个PID设定,实现不同温度段的精确测试。蕞多可扩展至4条工艺气路(MFC),应用不同气氛环境(真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等)。

    全自动智能控制  采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

    超高安全系数   采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全方位保障仪器使用安全

     

     

     

     

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