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    红外退火炉

    型号:IRLA-1200 品牌:武汉嘉仪通

    简要描述:

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    发邮件给我们:15158113977@163.com

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    特点:

     

    1、采用国外知名品牌部件:循环水路设计,带过滤部件,延长清洗炉体水路;红外灯管寿命高达5000小时,峰值波长约为1.25微米,炉体工艺镜面抛光。

    2、高精度控温:进口欧姆龙程序控温表,模糊逻辑PID控温,控温精度可达±0.1℃。

    3、快速控温:高能流密度红外灯和镀金反射镜设计,使仪器可快速加热至1150℃;同时,炉体的热容小,配合水冷系统和风冷系统,可实现温度快速冷却,提高使用效率。

    4、异常报警保护:炉膛配有炉体外表温度开关,水冷附加有流量开关。超温报警和流量异常时均会切断加热,保护炉膛。

    5、洁净控温:非电阻炉加热,无绝热保温材料,更适合在洁净环境中使用。

    6、可扩展性:带观察窗,可配CCD,采集光学信号;预留接口,可加载电学测量模块。

     

     

    应用功能:

     

    强诱导体薄膜的结晶化退火

    注入离子后的扩散退火

    半导体材料的烧成与退火条件研究

    快速热退火

    快速热氧化

    快速热氮化

    电极合金化

    晶向化和坚化

     

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